SRH தொடர் சுத்தமான வகை அழுத்தத்தை ஒழுங்குபடுத்தும் வால்வு | ரிச்ஜ் தொழில்நுட்பம்

பிராண்ட்:ரிச்ஜ் டெக்னாலஜியின் SRH தொடர் (睿其格科技)

தயாரிப்பு நிலைப்படுத்தல்

     SRH தொடர் என்பது அதி-சுத்தமான, அரிப்பை-எதிர்ப்பு மற்றும் குறைந்த மாசுபடுத்தும் திரவக் கட்டுப்பாட்டு காட்சிகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர்-தூய்மை துருப்பிடிக்காத எஃகு துல்லியமான அழுத்த சீராக்கி ஆகும். கடுமையான Richge சுத்தமான தர தரநிலைகளின் கீழ் தயாரிக்கப்பட்ட இந்த வால்வு சுத்தமான காற்று, நைட்ரஜன், ஆர்கான், கார்பன் டை ஆக்சைடு மற்றும் சுத்திகரிக்கப்பட்ட தண்ணீருக்கான நிலையான மற்றும் துல்லியமான அழுத்தக் கட்டுப்பாட்டை வழங்குகிறது. செமிகண்டக்டர், ஃபோட்டோவோல்டாயிக், எல்சிடி மற்றும் பயோஃபார்மாசூட்டிகல் ஹை-எண்ட் உற்பத்திக் கோடுகளுக்கான நிலையான உயர்-சுத்தமான ஒழுங்குபடுத்தும் கூறுகளாக இது செயல்படுகிறது.

முக்கிய சுத்தமான-தர அம்சங்கள்

     • முழு துருப்பிடிக்காத எஃகு ஈரமாக்கப்பட்ட பாகங்கள்: அனைத்து தொடர்பு பரப்புகளுக்கும் SUS316/316L பொருளை ஏற்றுக்கொள்கிறது, அமிலம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பை பூஜ்ஜிய அயனி மழைப்பொழிவு மற்றும் இரண்டாம் நிலை மாசுபாடு இல்லாமல் கொண்டுள்ளது.

     • கடுமையான எண்ணெய் இல்லாத உற்பத்தி: 100 ஆம் வகுப்பு சுத்தம் செய்யும் அறைகளில் தயாரிக்கப்பட்டு 16MΩ·cm அதி-தூய்மையான தண்ணீரால் சுத்தம் செய்யப்பட்டு குறைந்த துகள் மற்றும் குறைந்த எச்சம் செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.

     • உகந்த சுத்தமான கட்டமைப்பு: உள் மாசுபாடு மற்றும் எச்சங்கள் குவிவதைத் தவிர்க்க, உதரவிதானம்-தனிப்படுத்தப்பட்ட ஸ்பிரிங் அமைப்புடன் குறைந்தபட்ச டெட் வால்யூம் வடிவமைப்பு.

     • இரட்டை உதரவிதானம் தரங்கள் விருப்பத்தேர்வு: அல்ட்ரா-க்ளீன் செமிகண்டக்டர் சூழல்களுக்கு கிரேடு A PTFE உதரவிதானம்; பொதுவான அரிப்பை-எதிர்ப்பு வேலை நிலைமைகளுக்கான கிரேடு B FKM உதரவிதானம்.

     • இரட்டை செயல்பாட்டு பதிப்புகள்: நிவாரணம் மற்றும் நிவாரணம் அல்லாத வகைகள் கிடைக்கின்றன, உயர்-தூய்மை எரிவாயு விநியோகம் மற்றும் வெற்றிட அமைப்பு கட்டுப்பாடு தேவைகளுக்கு ஏற்ப.

தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள்

     • கட்டமைப்பு வகை: நேரடியாகச் செயல்படும் துல்லிய அழுத்தம் சீராக்கி

     • ஈரப்படுத்தப்பட்ட பொருட்கள்: SUS316/316L, PTFE / FKM உதரவிதானம்

     • பொருந்தக்கூடிய ஊடகம்: சுத்தமான காற்று, N₂, Ar, CO₂, தூய நீர்

     • அதிகபட்ச நுழைவு அழுத்தம்: 1.0 MPa

     • அனுசரிப்பு அழுத்தம் வரம்பு: 0.02–0.2 MPa / 0.05–0.7 MPa

     • போர்ட் அளவு: Rc1/8, 1/4, 3/8, 1/2

     • இயக்க வெப்பநிலை: 0℃～60℃

     • கட்டுப்பாட்டு துல்லியம்: ஹிஸ்டெரிசிஸ் ≤0.01MPa; மறுநிகழ்வு ≤0.005MPa

     • இணக்கத் தரநிலைகள்: RoHS, CE, SEMESCO

மாதிரி தொடர்

     • SRH3000: சிறிய வகை, 1/8"–1/4" போர்ட் அளவுகளுக்குப் பொருந்தும்

     • SRH4000: நடுத்தர வகை, 1/4"–1/2" போர்ட் அளவுகளுக்குப் பொருந்தும்

பயன்பாட்டுத் தொழில்கள்

     செமிகண்டக்டர் செதுக்குதல் மற்றும் CVD செயல்முறை வாயு கட்டுப்பாடு, ஒளிமின்னழுத்த மற்றும் LCD உற்பத்தி, உயிரி மருந்து மலட்டு வாயு மற்றும் தூய நீர் அமைப்புகள், உணவு மற்றும் மின்னணு மந்த வாயு பாதுகாப்பு, ஆய்வக குரோமடோகிராபி மற்றும் வெற்றிட துல்லிய உபகரணங்கள்.

முக்கிய சுருக்கம்

     SRH தொடர் சுத்தமான அழுத்தம் சீராக்கி முழு SUS316L எண்ணெய் இல்லாத அமைப்பு, குறைந்த துகள் மற்றும் குறைந்த எச்ச செயல்திறன், இரட்டை தர உதரவிதானம் தேர்வு மற்றும் உயர் துல்லியமான அழுத்தம் கட்டுப்பாடு கொண்டுள்ளது. இது உயர்நிலை துல்லியமான உற்பத்தித் தொழில்களுக்கான நிலையான அல்ட்ரா-க்ளீன் திரவக் கட்டுப்பாட்டு வால்வு ஆகும்.